Rainbow阴极荧光光谱仪

Rainbow阴极荧光光谱仪能够与扫描电子显微镜或聚焦离子束系统配合，实现阴极荧光全谱及单谱扫描成像、光谱采集以及阴极荧光高光谱分析。系统配备荧光收集镜及传输光纤、信号调理采集系统、电子束扫描发生器、光谱仪，通过系统控制与采集软件集成控制。

系统采用电子束扫描发生器控制电子显微镜的电子束扫描和触发探测器工作，同时可采集经信号调理采集系统获得的荧光强度信号，从而实现电子束扫描信号与探测器数据采集的严格同步，获得阴极荧光成像、阴极荧光光谱面分布数据。该系统可在纳米空间分辨率下实现各类材料的阴极荧光成像和光谱测量，尤其适用于半导体材料研究、光电材料和器件研究研发、纳米光子学科学研究、薄膜和纳米结构及矿物等。

技术参数

CL功能：单色、全色、RGB CL成像。可采集点、线、面CL光谱。具备波长单色器成像功能，采用PMT探测器对用户感兴趣波长快速成像；
光谱仪采用C-T结构设计,采用超环面影像校准设计，全光谱消⾊差，覆盖光谱范围广；
高性能椭球反射镜采集，CL收集效率⾼，总效率可达到90%（Lambertian source）。探测器类型：单通道探测器（PMT）、多通道探测器（CCD）；
光谱响应范围：200-1100nm；
增强型光谱仪：焦距320mm、3光栅，采用68×68大面积光栅，提升光通量的检测能力；光谱仪耦合模块，精确自适应匹配CL准直光束与光谱仪F数（孔径），F=4.2；
CL光强成像采用高速PMT探测器，波段响应范围：160-900nm；
CCD光谱分辨：0.2nm（@1200g/mm光栅，CCD像素尺寸15μm）;PMT分辨率：0.2nm（@1200g/mm光栅）；
(8)专业CL光谱采集，独立操作软件，轻松获取与分析数据，开源软件使整个CL成像流程轻松简单；具备点扫描、线扫描、面扫描，全谱、单谱、高光谱成像的功能，全中文操作界面。

应用案例

一、半导体领域

1.Rainbow阴极荧光光谱仪可实现半导体阴极荧光成像及光谱采集，检测样品带边激发、缺陷、量子阱等发光峰。