Sunny电镜阴极荧光成像系统

裕隆时代向用户提供Sunny系列扫描电镜专用阴极荧光成像系统。

阴极荧光(CL)系统作为电镜的功能部件，其强大之处就在于它能够将荧光信息与电子显微镜极佳的空间分辨率相结合，进而可以被用来探索在微米/纳米的尺度下物质的许多基本性质。目前，阴极荧光系统已经被广泛应用于地质、材料、半导体、微电子、物理、考古、生物医药等领域。

 Sunny系列阴极荧光成像系统能够实现微、纳米尺度的阴极荧光成像，具有大面积均匀探测范围和高探测灵敏度等优势，尤其适合地质类样品、光电材料与器件开展高效率阴极荧光强度表征与分析。

技术参数

(1)荧光收集方式：直接探测；

(2)探测波段范围：200-900 nm；

(3)最大成像范围：直径2.5 mm；

(4)接口类型：电镜样品室的平插接口;

(5)可与主流扫描电镜耦合，实现阴极荧光全谱成像、去磷光成像。

应用案例

           硅片上转移的纳米柱，可实现阴极荧光的纳米尺度高分辨成像

         GaN位错识别与位错密度统计

    Sunny系列产品可实现正装 Mini LED 样品大面积 CL 成像

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