裕隆时代LJ-18M磁控离子溅射仪
裕隆时代LJ-18M 磁控离子溅射仪
LJ-18M磁控离子溅射仪是由裕隆时代精心设计制造的新一代磁控镀膜系统。
- 配置平面磁控靶头，膜层均匀致密，大幅提升镀膜效率，降低样品表面温度。
- 特别适用于薄膜、生物等对热敏感样品镀膜、高分辨钨灯丝或场发射扫描电镜样品制备，及电极制作等领域。
● 配置高质量真空系统和微调阀，结合自动控制电路，预置工作真空和电流，无需反复调节，
● 操作极为简洁。可自选所需电离气体（氩气，空气），以获得最佳镀膜效果。
● 棱角成型工艺制成高强度真空玻璃罩，防止轻易磕碰损伤及边缘“崩边”。
● 标配Ф57mm X 0.12mm大尺寸铂靶，溅射范围更大，靶材使用时间更长。
● 高级铝制机箱，机身小巧，坚实美观。模块化设计，便于安装及检修。
标准配置
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型号 |
技术参数 |
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1 |
LJ-18M |
1.1溅射靶头：平面磁控靶头 1.2溅射电流：0-100mA 1.3玻璃处理室： Ф 125mm x 130mm 1.4试样台尺寸： Ф 40mm，可同时放6个样品台 1.5靶材尺寸： Ф57mm X 0.12mm 1.6真空系统： 直联旋片真空泵，2L/S 1.7真空保护： 20Pa，配有微量气体调节阀控制工作真空 1.8工作电源： 220 VAC 50Hz 1.9定时开关： 控制溅射时间，范围10～110S。 1.9可用靶材： 铂靶（标准配置），金靶，铜靶，银靶等 1.10工作气体： 空气或氩气 |
客户服务
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创建时间：2023-11-29 15:03
