LMC-2000磁控溅射（手套箱版）
LMC-2000磁控离子溅射仪（手套箱版），是专用于高倍扫描电镜（SEM）
图像和电极制备的金属镀膜系统，成膜精细致密，能够极为有效的提高
电镜观测效果。
主要用途： 制备金、铂、银、铜、锡、锌、铟、锑等金属薄膜
技术特点：
可用于纯氩气环境，放置于手套箱内
无需拆卸手套箱，通过∮290mm过渡仓即可实现安装、移机
全自动控制，操作简捷
镀膜颗粒小，适用于场发射电镜等高倍样品观测，和电极制备
无高热损伤，适用于对温度敏感的样品
内置操作向导，无需培训即可熟练操作
选购膜厚监控装置
仪器参数
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名称 |
参数 |
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1 |
LMC-2000 |
1.1显示屏: 5英寸 800×480 彩色触摸屏 1.2真空室： 高硅硼玻璃 φ125×125mm 1.3可用靶材： 金、铂、银、铜、锡、锌、铟、锑等金属 1.4真空系统： 1.1L/S 真空旋片泵 1.5靶材尺寸：φ57×0.12mm 1.6工作电流：5-45mA连续可调 1.7工作时间：1-999s连续可调 1.8工作气体： 空气或氩气 1.9产品尺寸： 424（L）×271（D）×255（H） |
创建时间：2022-11-22 15:25
