扫描透射电子束感生电流分析STEBIC

裕隆时代向用户提供基于最新技术的扫描透射电子束感应电流分析系统STEBIC。



STEBIC拥有无与伦比的技术优势

相比普通EBIC 

• 基于更先进的薄片技术，STEBIC拥有更高的空间分辨率

• 将STEM电镜和EBIC功能完美结合，为用户提供更广阔的的研究手段

相比电子全息成像系统

• 无需预先设置真空系统

• 无需图像重建系统

• 直接解读图像信息

相比样品电流放大器
 

• 更高的图像获取速度和更短的像素贮存时间（dwell time）

• 内置IV扫视用偏压电源

• 自动计算像素定量

有效提升定量测量功能

• 常规化电子束电流

• 直接进行样品间的对比

• 复合强度测量

• 离散强度测量

提升偏压功能

• 常规电镜操作条件下即可成像

• 确定薄片间电子关联

• 检查IV扫视下电子束对样品造成的损坏

• 在相关联的地方，进行电子束吸收电阻变化EBIRCh测量

STEBIC 厚度测量

Si的pn结， 由FIB制样



重点观测

• EBIC/EBAC的信号重叠

• 直接关联HAADF

• 离散强度测量

应用案例

SiGe纳米线