PF TEM原位加热与电学芯片系统

透射电子显微镜是唯一的提供在较高时间分辨率下得到原子级空间分辨率的实验手段。透射电子显微镜加热与电学芯片系统是在标准外形的透射电镜样品杆内安装MEMS工艺制成的微加热芯片和电学测量芯片。微加热芯片可对样品进行可控温度的加热，电学测量芯片可对样品进行电性质测量。并可在进行加热和电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大拓展了透射电镜的功能和应用范围。

本系统硬件包含两部分：加热和电学测量控制器及原位芯片样品杆。软件系统包括自动控温软件和自动电学测量软件。

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