LJ-16离子溅射仪
裕隆时代LJ-16离子溅射仪
LJ-16离子溅射仪由裕隆时代公司精心设计制造，是专用于扫描电镜（SEM）的样品喷金镀膜系统，能够极为有效的提高电镜观测效果。
主要用途： 金的离子溅射
仪器特点： 操作简便，性能优越， 质量稳定，功能丰富
相比上一代产品，LJ-16离子溅射仪有大幅度的性能提升：
● 换装新一代真空泵，大幅降低仪器噪音和废气污染。
● 标配样品室真空表和溅射电流表，实时显示和监控仪器状态。
● 特殊设计钟罩边缘橡胶密封圈，保证长期使用不会出现影响样品室真空度的玻璃钟罩“崩边”。
● 配置溅射电流控制器和微调真空气阀。结合自动控制电路，轻松控制样品室真空度、电离电流，并可任意选择所需电离气体，以获得最佳镀膜效果。
● 标配Ф58mm X 0.12mm大尺寸纯金靶，溅射范围更大，可同时喷镀6个样品，靶材使用时间更长。
● 预设参数，可以实现一键操作功能。
标准配置
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Item |
Description |
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LJ-16 |
1.1玻璃处理室： 内径Ф 115毫米 x 高度130毫米 1.2试样台尺寸： 内径Ф 40毫米, 可同时放六个样品杯 1.3金靶尺寸： Ф58毫米 X 0.12毫米 1.4真空系统： 直联旋片真空泵，2升/秒 1.5真空检测： 皮氏计 1.6真空保护： 20PA配有微量充气阀调节工作真空 1.7工作电源： 220 VAC 50Hz 1.8定时开关： 控制溅射时间，范围为10～110S。 1.9可用靶材： 金靶（随机自带），铂靶，镍靶 1.10工作气体： 空气或氩气 1.11产品尺寸： 400mm X 500mm X （高度）400mm （带玻璃罩） |
