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LJ-16离子溅射仪

裕隆时代LJ-16离子溅射仪



LJ-16离子溅射仪裕隆时代公司精心设计制造是专用于扫描电镜SEM)的样品喷金镀膜系统,能够极为有效的提高电镜观测效果。

                                   

主要用途 金的离子溅射

仪器特点 操作简便,性能优越 质量稳定,功能丰富


 相比上一代产品,LJ-16离子溅射仪有大幅度的性能提升:

         换装新一代真空泵,大幅降低仪器噪音和废气污染。

         标配样品室真空表和溅射电流表,实时显示和监控仪器状态。

        ● 特殊设计钟罩边缘橡胶密封圈,保证长期使用不会出现影响样品室真空度的玻璃钟罩“崩边”。

        ● 配置溅射电流控制器和微调真空气阀。结合自动控制电路,轻松控制样品室真空度、电离电流,并可任意选择所需电离气体,以获得最佳镀膜效果。

        ● 标配Ф58mm X 0.12mm大尺寸纯金靶,溅射范围更大,可同时喷镀6个样品,靶材使用时间更长。

        ● 预设参数,可以实现一键操作功能。




标准配置

Item

Description

1

LJ-16

1.1玻璃处理室: Ф 125mm x 高度125毫米

1.2试样台尺寸: Ф 40毫米, 可同时放六个样品杯

1.3金靶尺寸: Ф58mm X 0.1mm

1.4真空系统: 直联旋片真空泵,2L/S

1.5真空检测: 皮拉尼真空计

1.6真空保护: 20Pa,配有微量气体调节阀控制工作真空

1.7工作电源: 220 VAC   50Hz

1.8定时开关: 控制溅射时间,范围为10~110S。

1.9可用靶材: 金靶(随机自带),铂靶,镍靶

1.10工作气体: 空气或氩气

1.11主机规格: 375mm X 300mm X (高度)178mm 



2022年3月3日 14:47